主要用于物质的微区形貌和显微结构观察；利用能谱仪可进行物质微区定性或半定量成分分析，还可以进行元素的线、面扫描分析；利用电子背散射衍射仪，可以进行物质的相鉴定、显微织构分析。广泛应用于地质学、金属材料、无机非金属材料、冶金、生物、汽车、医学、公安等研究领域。